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一种促进低温快速沉积Cu(In,Ga)Se2薄膜生长的单加热克努森蒸发源的改良设计
在共蒸发工艺中,克努森蒸发源经常被用来生长高质量Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜.然而,在整个薄膜沉积过程中(尤其在低温工艺下),传统单......
期刊
Cu(In
Ga)Se2
Knudsen effusion cell
Condensation
Droplet ejection
Low temperature
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